薄膜裝備是一種高產(chǎn)能、高價值專用機(jī)組，設(shè)備不定期進(jìn)行保養(yǎng)，或保養(yǎng)不規(guī)范，將直接影響設(shè)備的性能和潛在故障發(fā)生的可能。故障的發(fā)生不僅影響了您的正常生產(chǎn)營運(yùn)，同時影響設(shè)備的使用壽命，增加您額外成本與費(fèi)用。